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青山湖科技城打造微纳技术研发开放平台

来源:科技日报 发布时间: 2019-11-27
24日,2019青山湖集成电路产业发展研讨会暨毛钧业先生诞辰100周年纪念会在杭州青山湖科技城举行。记者了解到,青山湖科技城依托多个国家科技重大专项,培育发展集成电路产业,打造微纳智造小镇,在不到两年时间里集聚了37个总投资260余亿元的产业链项目。

  24日,2019青山湖集成电路产业发展研讨会暨毛钧业先生诞辰100周年纪念会在杭州青山湖科技城举行。记者了解到,青山湖科技城依托多个国家科技重大专项,培育发展集成电路产业,打造微纳智造小镇,在不到两年时间里集聚了37个总投资260余亿元的产业链项目。
  
  青山湖科技城于2009年11月30日奠基建设,今年该城建设10周年。临安区委常委、青山湖科技城党工委书记王翔介绍,十年实业,制造智城,青山湖科技城正大力推进集成电路数字产业化、装备制造产业数字化。集成电路相关产业主要集中在微纳智造小镇。
  
  杭州市政府党组成员、杭州城西科创产业集聚区党工委书记、管委会主任李玲介绍道,青山湖微纳智造小镇已被列入浙江重要的集成电路产业培育基地。下一步,将在区域规划、产业重大项目布局、政策资金等方面,给予更多更大支持和倾斜。
  
  青山湖微纳技术研发开放平台(以下简称微纳平台)是青山湖科技城今年打造的一个重要平台。据了解,微纳平台是以12英寸特色高端芯片工艺研发为核心,覆盖通用芯片设计和测试服务的开放性平台,其主要功能包括电路设计、工艺研发、小批量产、测试分析等。
  
  浙江省自旋电子材料器件与系统重点实验室总监孟皓介绍道,目前,该平台已拥有光刻机等60多台套关键设备、2300平方米洁净室、核心技术骨干专家170余人,可为集成电路企业提供技术研发、创新平台和小批量量产、中试等服务。
  
  王翔表示,青山湖微纳技术研发开放平台,为全国的微纳技术企业、科研机构,提供芯片设计、研发、流片、测试服务。
  
  有了政府的持续推进,外加产学研合作的良好基础。微纳小镇吸引了18个项目落地运行和建设。如驰拓科技新型高端存储芯片研发中试基地全面投用;启尔机电刻光刻机浸液系统研制与中试基地项目全面投用、科研人员全部入驻;清华大学华卓精科光刻机工件台项目已动建。(记者 江耘 实习生 黄龄亿)


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